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深圳市恒昱控制技術(shù)有限公司
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行業(yè)解決方案
微電子與半導(dǎo)體行業(yè)---固晶機(jī)
發(fā)布時(shí)間 : 2017-06-16 10:08:18瀏覽量:4907
微電子與半導(dǎo)體行業(yè)---固晶機(jī)
需求：高速高精度，整套工藝動(dòng)作單臂120ms，固晶臂擺動(dòng)角度 175度;
固晶動(dòng)作定位精度2-5u;更為重要的是固晶時(shí)需要停得穩(wěn)，停得準(zhǔn)。
固晶機(jī)產(chǎn)量巨大，對自動(dòng)固晶動(dòng)作的速度和準(zhǔn)確度提出了極為嚴(yán)苛的要求，在高頻率 擺臂動(dòng)作中，要實(shí)現(xiàn)5u的固晶精度。為了達(dá)到這些嚴(yán)苛要求，需要一系列復(fù)雜的機(jī)械和控制技術(shù)。恒昱控制的HY5800運(yùn)動(dòng)控制卡，為滿足高速高精度的點(diǎn)位運(yùn)動(dòng)需求，提供了令人滿意的性能平臺。提供了完美的運(yùn)動(dòng)速度控制曲線，定制了行業(yè)工藝函數(shù)，徹底杜絕了速度波動(dòng)毛刺，完成了高速平穩(wěn)的固晶運(yùn)動(dòng)。
系統(tǒng)架構(gòu)：PC+運(yùn)動(dòng)控制器HY5800+驅(qū)動(dòng)器+電機(jī)+固晶機(jī)擺臂機(jī)構(gòu)+XYZ平臺
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